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洁净厂房是我国的耗能大户之一。据不完全统计,医院无菌手术室,洁净室的能耗是一般写字楼的10-30倍。我国的8英寸芯片厂,洁净室单位面积能耗比美国同类型工厂高15%(美国耗能1.28kW/m2-1.63kW/m2,而中国耗能1.48kW/m2-1.93kW/m2)。以上海某知名芯片厂为例,其全年耗电量的51%是用于洁净室运行的维护,如果将这51%的能耗合理降低,对企业来说就意味着利润的增长。
另外,通过标准配备变频器,营口无菌手术室,还可进行细微的运行控制,承接无菌手术室,从而大幅降低了能源消耗和运行成本。冷媒方面,采用不破坏臭氧层的HFC-134a。
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